スピンドライヤー ６インチ用・８インチ用
概略装置説明及び仕様
■１.処理能力 ８インチ用の場合
- ８インチウエハー 50枚（25枚×2キャリア）
- ６インチウエハー100枚（25枚×4キャリア）
- ６インチウエハー100枚（25枚×4キャリア）
- ４インチウエハー100枚（25枚×4キャリア）
■２.乾燥時間（２段時間設定式）
- １段切換え 1?999sec可変
- ２段切換え 1?999sec可変
■３.加減速度設定 10?150sec可変
■４.回転数
- 300?1000rpm
- 0?300rpm
※１２インチ（１キャリア方式もございます）
※この装置は過去実績の一例です。
当社は装置のカスタムメーカーとして、お客様の要望に合わせた装置を設計・製作致します。是非ご相談ください。
装置のカスタムメーカーブランド「O-TEC」
当社は装置のカスタムメーカーとしてO-TECブランドを展開しております。
お客様の要望に対し最適な方法で装置を設計・製作致します。
カスタムメーカーとは？
装置メーカーには同じ仕様で量産品を製造する量産メーカーと、お客様の要求仕様に適合させた装置を設計・製作するカスタムメーカーがあります。
当社はカスタムメーカーとして、お客様の要求仕様に応える装置づくりを行っています。
- 対応業界例
- 半導体、FPD、電子部品関連、ガラス加工、自動車関連、医療、薬品、食品、バイオ、環境分野、ソーラー、 燃料電池等、精密性・安全性を求められる様々な用途に装置を製作可能です。
O-TECの得意分野
当社の装置製作技術の得意分野は、長年蓄積した「高圧ガス関連技術」「温度制御技術」そして、半導体業界で培った「洗浄」「搬送」技術です
装置製作例紹介
温度制御技術
拡散/CVD装置関連
超高圧関連
環境試験装置
WET装置
お電話の際には、「ウェブサイトを見て、装置設計製作の件で…」とお伝え頂けるとスムーズです。
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- 本社代表
- 03-3490-0708
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- 平日8:00～17:00