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装置設計製作例:スピンドライヤー 6インチ用・8インチ用

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概略装置説明及び仕様

■1.処理能力

8インチ用の場合
・8インチウエハー 50枚(25枚×2キャリア)
・6インチウエハー100枚(25枚×4キャリア)
・6インチウエハー100枚(25枚×4キャリア)
・4インチウエハー100枚(25枚×4キャリア)

■2.乾燥時間(2段時間設定式)
・1段切換え  1?999sec可変
・2段切換え  1?999sec可変

■3.加減速度設定 10?150sec可変
■4.回転数
 300?1000rpm
 0?300rpm 

※12インチ(1キャリア方式もございます)


※この装置は過去実績の一例です。
当社は装置のカスタムメーカーとして、お客様の要望に合わせた装置を設計・製作致します。是非ご相談ください。

装置設計製作 お客様の声

装置設計製作 事例

装置のカスタムメーカーブランド「O-TEC」

O-TEC

当社は装置のカスタムメーカーとしてO-TECブランドを展開しております。
お客様の要望に対し最適な方法で装置を設計・製作致します。

カスタムメーカーとは?

装置メーカーには同じ仕様で量産品を製造する量産メーカーと、お客様の要求仕様に適合させた装置を設計・製作するカスタムメーカーがあります。

当社はカスタムメーカーとして、お客様の要求仕様に応える装置づくりを行っています。

対応業界例

半導体、FPD、電子部品関連、ガラス加工、自動車関連、医療、薬品、食品、バイオ、環境分野、ソーラー、 燃料電池等、精密性・安全性を求められる様々な用途に装置を製作可能です。

O-TECの得意分野

高温 低温 高圧 真空 洗浄 搬送

当社の装置製作技術の得意分野は、長年蓄積した「高圧ガス関連技術」「温度制御技術」そして、半導体業界で培った「洗浄」「搬送」技術です。

装置製作例紹介

  • 温度制御技術
  • 環境試験装置
  • WET装置
  • 超高圧関連
  • その他

お電話の際には、「ウェブサイトを見て、装置設計製作の件で…」とお伝え頂けるとスムーズです。

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