LP :真空乾燥装置

半導体業界で培った
確かな真空乾燥技術

50年の信頼と実績

精密性を求められる半導体業界において、お客様の要求する品質に応え続けてきました。
現在では樹脂・フィルム・電池・バイオ・医薬・食品など、様々な分野でO-TECの装置は活躍しています。

比較.1角チャンバーだから
圧倒的に使いやすい

一般的な他社様の量産品

球形チャンバー

球形チャンバーの場合
中に入れられる試料は少量
入り口が狭い場合は特に注意
試料の形状や配置が制限される

O-TEC フルカスタム真空乾燥炉

使いやすさを追求した角チャンバー(高真空対応)

使いやすさを追求した角チャンバー
高真空領域対応
内寸2mx2mの大容量を実現
入り口は広く配置も自在
最大1tの搭載が可能

なぜ一般的な量産品では、使いやすい角チャンバーが採用されていないのですか?

角チャンバーを実現するには、高度な技術力を要するためです。
内部が真空になると、内側に向かって気圧が大きな力となってかかります。
その際たわみが大きいと、破損や真空度の低下などの懸念が生じます。
そこでO-TECの研究開発チームはチャンバーの変形率に着目。
たわみを0.88mmという微細なレベルに抑え、ターボポンプを使った「高真空」に耐えられる高い強度と、安定した高い真空度を実現しています。

専門機関の協力により、真空容器の構造解析を実施しています。

構造解析を実施したところ、
変形率は目標値である2mmを下回る結果でした(0.88mm)。
非常にたわみの少ない、
耐久性の高い角チャンバーを実現しています。

比較.2最大6面ヒーター独立温調制御
(各棚段ヒーター塔載も可能)

一般的な他社様の量産品

板を挟んだ2面ヒーターー

側面は高温、中央は低温。
ヒーターと試料の間に取り外し出来る簡易ないたがはめられることが多い。
温度分布のムラが大きい(±10℃程)

O-TEC フルカスタム真空乾燥炉

上・下・左・右・前・後 全面ヒーター

壁面と一体化した内層型全面(6面)ヒーター
各面が独立して高温に温度制御を実行、だから温度分布が安定します。
さらに層内で棚段を配置したい場合、各棚段毎にヒーター搭載も可能。
温度分布「±1℃~±3℃」を実現 ※試料による

温度分布が安定しない装置では、試料に対し意図した真空乾燥をかけることが困難です。
フィルムや樹脂製品など、品質の均一化が求められる試料では影響が目立ちます。

比較.3ステップ処理で
正確な自動処理

一般的な他社様の量産品

板を挟んだ2面ヒーター

側面は高温、中央は低温。
ヒーターと試料の間に取り外し出来る簡易ないたがはめられることが多い。
温度分布のムラが大きい(±10℃程)

O-TEC フルカスタム真空乾燥炉

プロセスを組んでおけば微細な調整まで自動化可能!

あらかじめプロセスを組んでおけばステップ処理で、決められた時間に、決められた温度で、決められた真空度の乾燥をフルオートで実現。


使いやすい操作パネル

O-TECの真空乾燥装置なら
パネルで現在状況を常時モニタリング可能、使いやすいタッチパネル式。
PC接続により複雑なプロセスも構築可能。
正確なプロセスの実行は研究開発段階の試行錯誤や、生産現場の歩留まり向上施策にも最適です。

フルカスタムならではの
超柔軟な仕様対応

  • 用途に応じた小さなサイズもご用意可能、省スペースなら研究室にも入れられます
  • オプションとして、チャンバー槽内回転機構(耐荷重50kg×4本)も対応可能
  • 計器を通したい場合など、穴開けもご相談ください
  • 棚の設置も可能、一度にまとめて処理できます
  • 温度、時間、真空度、機能、幅広く対応可能

等々、市販品に無い御社独自の特別仕様など対応いたします。


小型なら研究室にも丁度良い

仕様一覧

をクリックで写真がご覧になれます


導入用途・業界例

樹脂・フィルム、ソーラー発電用蓄電池、風力発電用蓄電池、磁性材料・熱電素子材料・触媒等の水分及び溶剤の乾燥

当社は装置を売るメーカーではありません。
技術を研き、顧客ニーズに応え続ける技術企業です。

進歩が極めて早い半導体業界で培った「技術開発対応力」

常に進化し2年もあれば陳腐化してしまう半導体業界で、お客様から求められる非常に高い精度に応え続け、参入時から常に日本・世界の一流メーカー様からご指名頂いてきました。試作開発から積極的に意見交換し、より目的に沿った、精度・安全性の高い装置を開発することが可能です。量産の際にもそのままご対応可能。機能・性能・安定性・そしてコスト、どれをとっても高いレベルでお客様にご満足頂ける自信があります。真空乾燥装置を導入する際には、どうぞO-TECへご相談ください!

創業者(故)大村敬一と当時の社屋
品川区にある現在の本社。
熟練の技術者が多数在籍
神奈川県にある川崎メカニカルセンターは日本有数の大規模クリーンルームを5室保有。
ほか、茨城、熊本、宮崎の5拠点体制で全国カバー。

O-TECだからできること

  • フルカスタム対応可能だから
    思い通りの仕様を実現
  • 試作開発から装置の
    エキスパート技術者が協力致します。
  • 歩留まり向上のための
    分析・改善も自信があります。
  • 大手企業・大学との共同研究例も豊富。
    機密情報を守る体制があります。

品質・スピード・生産コストで勝負する企業様のためのこだわりをとことん追求できるフルカスタム真空乾燥炉です。

樹脂・フィルム・触媒・電池ロール等の水分及び溶剤乾燥などにご利用いただけます。
フルカスタム可能だから仕様は自在。御社のノウハウを最大限に活かせる装置を製作。

装置詳細

  • 高真空対応角チャンバー
  • 安定時温度分布±3℃
  • 真空度 大気圧~1Torr以下
  • 温度MAX350℃(条件による)
  • シーケンスによるプログラム制御
  • 台車式可能(要ご相談)
  • 温度昇温+冷却(外周冷却)7時間以内

温度分布を検証した
データシートもございます。
(一般非公開) お問合せください!

こんなときはお気軽に
ご連絡ください。
担当者がお伺い致します!

  • 共同で研究開発できる会社を探している、どんなやり方があるのか提案して欲しい
  • 装置の導入について検討してみたい
  • まだ検討段階だが、話だけ聞いてみたい
  • データシートを見てみたい

お電話の際には、「ウェブサイトを見て、装置設計製作の件で…」とお伝え頂けるとスムーズです。

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