装置リスト

当社の装置リストを掲載しています。(2017年11月14日現在)

装置一覧

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No Item No Category Size Manufacture Model Description Vintage
1 OTSG0385 CVD 6 AMAT P-5000
2 OJL-0602152 Poly H8.3 8 KOKUSAI DJ-833V
3 OJL-0602153 TEOS 8 KOKUSAI DJ-833V
4 OJL-0602154 HTO 8 KOKUSAI DJ-833V
5 OJL-0602158 N2 Anneal 6 KOKUSAI DD-802V B
6 OJL-0602151 DRY酸化炉 6 KOKUSAI DJ-802
7 OJL-0602161 PYRO 6 KOKUSAI DD-812V B
8 O2 DRY酸化 N2 8 KOKUSAI DD-833Vー8B
9 Poly 6 KOKUSAI DJ-802V 

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