概略装置説明及び仕様
| 外観 | |
|---|---|
| 炉体寸法 | H3200×W1000×D1900 |
| 炉体重量 | 1500kg |
| 炉体 | |
|---|---|
| ヒーター | 4ゾーンヒーター |
| 最高使用温度 | 1250℃ |
| 搬送系 | |
|---|---|
| キャリア搬送 | ターンテーブル方式 |
| ウェーハ搬送 | ウェーハピッチ可変式5枚一括搬送 |
| ウェーハ搬送方式 | すくい上げ方式 |
| プロセス | |
|---|---|
| 生成膜 | DRY酸化/WET酸化(PYRO) |
| 反応ガス | O2、H2 |
| 処理枚数 | プロセスウェーハ150枚/バッチ |
| 生成温度 | 800℃～1200℃ |
| 面内均一性 | ±3％ |
| 常用温度 | 800℃ |
この装置は過去実績の一例です。
当社は装置のカスタムメーカーとして、お客様の要望に合わせた装置を設計・製作致します。是非ご相談ください。
その他の装置設計製作例（装置関連）
装置製作例紹介
温度制御技術
環境試験装置
超高圧関連
WET装置
お問い合わせ
お電話の際には、「ウェブサイトを見て、装置設計製作の件で」とお伝え頂くとスムーズです。
